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我們所有的閉環(huán)壓電產(chǎn)品在參數(shù)表中均會(huì)列出線性度值，芯明天壓電產(chǎn)品的線性度通常在滿行程的0.02%-0.1%之間，那么我們?cè)撊绾卫斫饩€性度這個(gè)參數(shù)呢？

理想的情況下，輸入信號(hào)（決定壓電陶瓷位置的信號(hào)）與輸出信號(hào)（實(shí)現(xiàn)的位移）應(yīng)該是線性的。

線性度描述的是實(shí)際的位置與理想位置的接近程度。

閉環(huán)壓電產(chǎn)品內(nèi)置的傳感器線性度參數(shù)是非常重要的。芯明天壓電產(chǎn)品可選擇電阻應(yīng)變計(jì)傳感器或者電容傳感器。

根據(jù)靈敏度計(jì)算理想位置

根據(jù)監(jiān)測(cè)電壓，理想位置可以按照以下公式計(jì)算：

舉例：

結(jié)合線性度通過(guò)靈敏度計(jì)算的位置

前面已經(jīng)闡述過(guò)，監(jiān)測(cè)輸出電壓給出系統(tǒng)當(dāng)前位置，通過(guò)靈敏度計(jì)算得到的位置會(huì)被非線性所改變。 

在閉環(huán)線性關(guān)系中，實(shí)際位置與理想位置之間的偏差即為非線性。基于監(jiān)測(cè)電壓，為了得到壓電陶瓷實(shí)際的位置，非線性必須要被考慮進(jìn)去。

舉例：

165nm的非線性使得239.396μm的位移將會(huì)被改變?yōu)?39.561μm或239.231μm，我們通過(guò)以下方式確定傳感系統(tǒng)的線性度，用滿幅值三角波驅(qū)動(dòng)控制壓電陶瓷，系統(tǒng)位置將會(huì)被內(nèi)置的傳感器監(jiān)測(cè)調(diào)整，外部采用激光干涉儀進(jìn)行位置檢測(cè)。

下圖為芯明天P11.X壓電納米定位臺(tái)的線性度曲線圖。

 與位置有關(guān)的數(shù)據(jù)比如線性度、重復(fù)度、控制電壓等可在出廠檢測(cè)報(bào)告中給出。