壓電掃描臺|P15系列|新品發布
P15壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺，具有非常高的直線度。中心通孔直徑48mm，非常適于透射光應用，如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。
特點：
行程范圍為370 x 370 x270μm；
可選配應變式閉環傳感器；
無摩擦、高精度撓性導向系統；
掃描平整度高；
通孔直徑48 mm。
應用：掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術、微操作等。
P15壓電掃描臺XY方向的運動行程為370μm，Z向的運動行程為270μm，它的內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。 FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動小化。
P15壓電掃描臺可選配閉環反饋傳感器，可提供更高的定位精度，非常適合高精度定位應用。
閉環上升曲線
與常規的閉環壓電掃描臺相比，P15系列在外觀上略有不同，它的臺體上具有兩個出線孔，分別為PZT供電引線及閉環信號反饋引線。并且，P15系列壓電掃描臺的移動面，較臺體平面高出一部分，更易辨別。
P15壓電掃描臺技術參數
型號：P15.XYZ300S
XY標稱行程范圍：370(±185)µm/軸
Z標稱行程范圍：270µm
傳感器類型：SGS
閉/開環分辨率：8/5nm
閉環線性度：0.2%F.S.
閉環重復定位精度：0.15%F.S.
運動方向剛度：X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm
空載諧振頻率：X120/Y150/Z250 Hz
大承載：0.5Kg
XY靜電容量：21μF
Z靜電容量：7.2μF
材質：鋁
重量：900g
應用案例
納米光刻
首先計算機將BMP圖轉化為灰度圖，然后再通過控制系統控制壓電掃描臺，帶動鍍膜鏡片在0-300μm范圍內對讀取的圖像信息進行優化，同時控制激光器及掃描臺，二者配合完成BMP圖的納米定位加工。
AFM原子力顯微鏡
閉環納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動樣品進行高速精密運動，可以實現X、Y、Z軸280μm的掃描，分辨率為亞納米級，響應時間可達亞毫秒。
干涉
壓電掃描臺的Z向的納米級的微運動，調整待測物的位置，從而改變對應的干涉條紋的寬度及位置，以達到更的表面測量。
