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芯明天柔性鉸鏈壓電納米定位臺將壓電陶瓷與柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)相結(jié)合，使得其可達(dá)到亞納米級分辨率、百微米級位移行程及亞毫秒級響應(yīng)時(shí)間。柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)具有高導(dǎo)向精度、結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，與壓電陶瓷相結(jié)合組成的分辨率高、頻響高的壓電納米定位臺，特別適合微納米定位、超高分辨率顯微鏡、激光通信等應(yīng)用。同時(shí)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

1~3維線性壓電納米定位臺

高精度1~3維壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X、Z、XY、XZ、XYZ軸的精密運(yùn)動，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統(tǒng)。

Z軸壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，補(bǔ)償量小，具有較高聚焦穩(wěn)定性。聚焦范圍可達(dá)500μm，負(fù)載可達(dá)500g。分立式螺紋設(shè)計(jì)，可適配多種型號的物鏡。物鏡定位器裝入顯微檢測或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度。

柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡

芯明天柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡通過壓電陶瓷柔性鉸鏈相結(jié)合進(jìn)行精密角度調(diào)整，實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動，補(bǔ)償量小，確保其具有較高的運(yùn)動精度和穩(wěn)定性，可實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率，特別適用于激光光束掃描及激光通信等應(yīng)用。