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產品名稱:直驅機構式壓電掃描臺

產品型號:N63XY

產品報價:

產品特點:直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺,一體式結構設計原理,壓電陶瓷直驅機構,可實現8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應用。

更新日期:2025-10-17

N63XY直驅機構式壓電掃描臺的詳細資料:

直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺,一體式結構設計原理,壓電陶瓷直驅機構,可實現8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應用。

 

直驅機構式壓電掃描臺特性

       • 二維XY向運動,zui大行程8μm/軸                     • zui大承載3kg                     

      • 臺體中心方形通孔,尺寸為Ø62mm                   • 內置高性能壓電陶瓷                 

      • 開環、閉環可選

 

外觀形狀

產品運動示意圖

臺體采用直驅式結構設計,出力大

 

一體式超薄結構、高分辨率、閉環精度高

頻率負載曲線

壓電陶瓷嵌套式一體結構

N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺,平臺采用柔性鉸鏈導向壓電陶瓷直驅的機構設計,具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點,使其具有超高的分辨率達0.2nm。

可選擇內置高性能傳感器實現8×8μm范圍內超高的定位精度。

N63壓電掃描臺由于具有超薄的結構,臺體僅為17mm,中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。

N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅機構設計原理,嵌套式機構使其具有非常良好的動態性能。

 

平穩和精確的掃描圓形驅動

精準圓形驅動控制,可以通過精切定位XY平臺的每一軸,采用正弦波90°相差輸入,也可以通過PID修正位移進行調整,根據頻率幅值以及負載使得驅動控制平穩精確。

     

應用

       • 圖像處理與穩定  • 精密定位  •光學捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計量  • 半導體測試  • 表面檢測  • 光學計量  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術  • 表面結構分析

 
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