IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺采用一體式結構設計，多軸運動無耦合。多種位移行程可供選擇。可應用于高精密光 學測量、生物科技、原子力顯微鏡等應用領域。 IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺技術參數 型號 | IT.XY25 | IT.XY50 | IT.XY100 | IT.XYZ50 | IT.XYZ100 | 單位 | 運動自由度 | XY | XY | XY | XYZ | XYZ | | 運動范圍（0~150V） | 25/軸 | 50/軸 | 100/軸 | 50/軸 | 100/軸 | μm±20% | 分辨率 | 12 | 19 | 19 | 10 | 20 | pm | 傳感形式 | 高分辨率電容傳感器 | | 驅動方式 | 壓電陶瓷致動器及精密柔性鉸鏈結構 | | 線性度 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | %F.S. | 響應頻率 | X1500 Y2000 | X360 Y450 | X360 Y450 | X400 Y540 Z600 | X320 Y450 Z500 | Hz | zui大負載 | 5 | 5 | 5 | 1 | 1 | kg | 臺體重量 | 200 | 323 | 323 | 250 | 250 | g |
| g |
IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺特性： 皮米級分辨率 • 電容式閉環控制 • 閉環定位精度高 IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺應用： • 精密定位 • 生物顯微 • 光學顯微成像 • 細胞穿透 哈爾濱芯明天科技有限公司是專業從事微運動器（壓電陶瓷）和微運動控制器（壓電陶瓷控制器）產品的開發、生產、銷售及服務的高科技企業，我們的微運動器和微運動控制器產品是推動微制造、微工業、微軍事、微生物、微醫療、微光學等微觀領域發展的核心技術，是了解和操縱微觀世界的機器心臟。 哈爾濱芯明天科技有限公司經過多年的項目研究與技術積累，擁有了自己的核心技術，開發出了系列化的微運動器與微運動控制器產品，廣泛地應用于國內各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學儀器、燃油噴射系統、微小器件加工機床的公司；公司與哈爾濱工業大學的多個研究所有著多年的密切合作關系，按照科研與產業化相結合的道路持續發展；公司擁有雄厚的技術儲備和研發制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創新能力的青年隊伍。 |
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